Halbleiter

Die Produktion von Halbleitern stellt ganz besondere Ansprüche an eine Pumpe. Neben der besonderen Herausforderung durch teilweise - insbesondere für Kunststoffe - recht hohe Temperaturen erfahren Begriffe wie Reinheit und Sicherheit eine ganz neue Bedeutung. Die absolute Metallfreiheit der ALMATEC Pumpenbaureihe FUTUR ist dabei eine wesentliche Voraussetzung. Die Versorgung von hochreinen Chemikalien und deren Zirkulation und Filtration sowie die Förderung von abrasiven Slurries und Lösemitteln sind typische Anwendungsgebiete in der Halbleiterindustrie. Beispiele für hochreine Chemikalien sind H2SO4, HCl. HNO3, H3PO4, HF und H2O2.

FUTUR, E-SERIE